类别:科研级VCSEL精密温控型多功能LIV光谱功率测试系统
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VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,垂直共振腔表面放射激光)技术目前在在人脸识别、3D感测、汽车自动驾驶、手势侦测和VR(虚拟现实)/AR(增强现实)/MR(混合现实等应用领域越来越受到关注,莱森光学®可以为客户提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF检测解决方案:LIV光谱/功率积分测试、NF近场特性测试、FF远场特性测试、BRDF/BTDF光学材料AR/VR特性测试、VCSEL专用积分球,实现对VCSEL单体、模组、及晶圆芯片的能量分布和均匀性测量、光谱波长及功率测量、近场远场测量等各种定制化应用需求。
LS-VCS-SCI-LIV精密温控型LIV光谱功率积分测试系统由莱森光学专门针对基于3D-SENSING 脉冲激光LIV光谱测试研发而成,特别适合晶圆和模组封装用户在实验室对VCSEL/LD的研发使用,用于验证VCSEL/LD各个工艺过程中的光电特性。实现对VCSEL/LD单体、模组、及芯片的LIV、EIV、TIE、PCE、光谱波长及功率测量等。
LS-VCS-SCI-LIV精密温控型多功能光谱功率积分测试系统专门针对基于3D-SENSING 脉冲激光、脉冲LD/LED测试研发而成,该系统可用于对VCSEL、LD/LED光电特性检测,以保证VCSEL、LD/LED脉冲激光辐射光谱满足器件光学功能和IEC-60825-2激光安全-人眼安全应用需求。
主要功能特点
● 强大的专用软件分析功能,可以扫描测量LIV曲线,PCE曲线,温度-峰值波长-光功率曲线,可设置扫描精度和速度,可测量光电转换效率,自动保存测试数据
● 高精度光学分辨率光谱仪光谱范围400-1100nm可选,光谱分辨率0.1nm,实现光谱峰值波长和半高全宽(FWHM)测量,最快可实现2kHz采样速率,可扫描测量温度-峰值波长-功率曲线等
● 手动或全自动探针平台,可实现对晶圆或模组的自动化LIV光谱功率测试
● 可对样品精确控温,可设置扫描步长,可实现高速同步触发,可预设/自定义测量
● 多线程联用(大功率高精度电流源、高精度高速数字万用表、多通道同步数字万用表、功率探头、光谱仪、温度控制器等),可以实现光谱、功率、电流、温度等参数的程序化、自动化扫描测量
● 一体化工控机箱,高分辨液晶显示,自动化集成化操作软件
● 采用四线测量方法,实时记录实测电流、电压值,功率值,测试更准确
● 程序可设置连续及脉冲扫描两种模式
● 寿命老化检测功能:在恒定或脉冲条件下(电流、温度),每隔指定时间间隔测试记录一次光谱和功率数据
VCSEL光谱随电流的变化
LIV、I-V、I-L 扫描曲线
温度、峰值波长、光功率扫描曲线
主要技术指标
型号
LS-VCS-SCI-LIV
波长范围
300~1700nm(可选)
光学功率
0~50W
光谱分辨率
0.1nm(800~1000nm)
光电转换效率
0~100%
积分球
2吋/4吋/6吋
工作电压
0~35V,3A@6V
工作电流
DC电流:±100pA~±3.03A;脉冲电流:0~±10A
阈值电流
Yes
斜率效率
Yes
电阻(内阻)
Yes
PD暗电流
1pA~100nA
PD光电流
0~100mA
光功率-PD电流曲线
LIV特性曲线
QCW / CW
直流可调/PWM可调
脉冲时间
3A@6V,最小脉宽0.15ms
探针台
选配
占空比
0~100%
控温范围
5℃~85℃@精度±1℃
尺寸/重量
37cm×52cm×41cm,25kg
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