类别:VCSEL在线晶圆测量机
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VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,垂直共振腔表面放射激光)技术目前在在人脸识别、3D感测、汽车自驾驶、手势侦测和VR(虚拟现实)/AR(增强现实)/MR(混合现实等应用领域越来越受到关注,莱森光学®可以为客户提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF检测解决方案:LIV光谱/功率积分测试、NF近场特性测试、FF远场特性测试、BRDF/BTDF光学材料AR/VR特性测试、VCSEL专用积分球,实现对VCSEL单体、模组、及晶圆芯片的能量分布和均匀性测量、光谱波长及功率测量、近场远场测量等各种定制化应用需求。
VCSEL-LIV-NF-FF自动化在线晶圆测量系统由莱森光学专门针对基于6寸 VCSEL晶圆得LIV光谱测试/NF近场测试/FF远场测试研发而成,特别适合晶圆线上自动化测量。
主要技术特点
● 满足ISO/IEC标准
● 晶圆最大支持6寸
● 支持脉冲和CW模式
NF近场测试
主要技术指标
项目
规格
单位
晶圆参数
晶圆尺寸
≤6
inch
晶圆厚度
100~3,000
μm
晶圆曲度
≦10
mm
芯片尺寸
150~3,000
μm
衬底尺寸
≧50
μm
光功率
0.1~10,000
mW
波长
800~1,100
nm
LIV-NF-FF
LS-LIV-1000
LS-NF-2000
LS-FF-3000
测量能力
LIV和光谱功率测量
近场测试
远场测试
LIV,Leakage current漏电流,Ith阈值电流,Kink,中心波长(λc),峰值波长(λp),FWHM半高宽
光斑大小、椭圆度、发散角、功率分布等
斑发散角、能量空间分布、光斑准直度、对称度(IEC60825-2)
温控能力
5-85℃(标准),
电流源通道选择
取决于DUT结构,可由PXI基础配置
测量方法
双极,25W /通道,4线,CW和QCW
电压范围
±100mV,
±300mV, ±600mV;±1V, ±3V, ±6V, ±10V, ±15V,
±30V,
电流范围
±3.5A(≦5V), ±2.5A(≦10V), ±1A, ±100mA, ±10mA, ±1mA, ±100uA, ±10uA,
±1uA
电流脉冲宽度
>100 μs
脉冲占空比
20%
光学测试模块
带标定积分球和光谱仪
带自动对焦显微镜系统的CCD摄像头
高速CCD摄像头/标准板
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